V-573 apima ypač tikslų linijinį variklio stadiją. | Šaltinis: PI
„Physik Instrumente LP“ arba „PI“ išplėtė savo produktų portfelį naudodama naują aukštos dinamikos linijinės motorinės scenos šeimą, V-573. Bendrovė teigė, kad tai yra nauja linijinių padėties nustatymo etapų serija su tiksliais vadovais ir be trinties trifazių linijinių variklių.
JAV sukurta linijinė stadija su absoliučiu kodavimo įrenginiu yra tinkamas tyrimams ir pramoninėms reikmėms, įskaitant skenavimą, matavimą, vaizdavimą ir derinimą, sakė PI. Bendrovės produktai palaiko kritinius puslaidininkių procesus, tokius kaip nano litografija, kaukė ir CD matavimas, vaflių patikrinimas ir vaflių pjaustymai.
„Karlsruhe“, Vokietijoje įsikūrusi PI dizainas ir gamina tikslus judesio ir automatizavimo sistemas, įskaitant oro guolius, šešiakampius ir „Pjezo“ įrenginius, Šiaurės Amerikos, Europos ir Azijos vietose. Bendrovė buvo įkurta prieš penkis dešimtmečius, o šiandien joje dirba daugiau nei 1900 žmonių visame pasaulyje.
Jos dukterinė įmonė „Pi LP“ valdo penkias įrenginius Šiaurės Amerikoje, o jos pagrindinė buveinė Auburn, Masačusetso mieste. Be puslaidininkių, bendrovė teigė, kad jos sistemos paspartina silicio fotonikos, kvantinio skaičiavimo, pramonės automatizavimo, didelės skiriamosios gebos mikroskopijos ir gyvybės mokslų pažangą.
PI pateikia specifikacijas naujoje variklio scenoje
PI išvardijo šias V-573 specifikacijas:
- 160/260/360 mm kelionė
- 1 nm absoliuti kodavimo raiška
- 80 nm dvikryptis pakartojamumas
- Tiesumas/lygumas iki 1 μm
- 500 mm/sek. Maksimalus greitis
- 1G pagreitis
- 140n Push/traukimo jėga
V-573 šeima sujungia tikslumą ir greitį reikalaujančiai gamybos aplinkai, tvirtino PI. Sukurtas XY konfigūracijoms, bendrovė teigė, kad etapai integruojami su savo ACS pagrįstais „Ethercat“ judesio valdikliais, naudodama išplėstinius algoritmus, kad būtų galima optimaliai veikti.
V-573 gali veikti įvairiose pramonės šakose
Pažengusio etapo dizainas numato tiesumo ir lygumo vertes, kurių vertė yra mažesnė kaip 1 μm, sakė PI. Kryžminiai ritininiai guoliai užtikrina didelį standumą, sklandų bėgimą ir prailgintą eksploatavimo laiką. Jų linijos kontakto dizainas sumažina trintį, pagerina tikslumą ir palaiko didesnes apkrovas, pridedant anti-Creep mechanizmą, kad būtų padidintas patikimumas.
Vyruotas nerimo, trifazių tiesioginio pavaros linijinių variklių, etapai užtikrina, kad užtikrina sklandų judesį dideliu greičiu ir pagreitiniais, teigia PI. Tiesioginis jėgos perdavimas kartu su tiesioginio matavimo linijiniais kodavimo elementais pašalina atsilikimą ir žaidimą, kartu pagerindamas tikslumą ir dvikryptį pakartojamumą.
„V-573“ galima įsigyti su papildomais arba absoliutais kodavimo įrenginiais. „Absolute Encoder“ modeliai siūlo 1 nm skiriamąją gebą ir nedelsiant atsiliepimus apie maitinimo šaltinį, pašalindami nuorodų judesius, kad būtų galima efektyviai, saugiai paleisti.
PI teigė, kad V-573 yra tinkamas įvairioms pramonės šakoms, įskaitant:
- Imties patikrinimas, tikslus mikro surinkimas ir pažangūs tyrimai
- Puslaidininkių bandymai ir tikrinimas bei metrologija
- Tikslus automatizavimas, įrenginio surinkimas ir lazerio mikro apdorojimas
- Greitaeigė pasirinkimas, optikos, mikromechanikos ir fotonikos komponentų suderinimas
- Biotechnologijų, mikroskopijos ir medicinos prietaisų gamyba
PI planuoja pademonstruoti savo technologiją „Semicon West 2025“ 1554 m. Booth mieste. Bendrovė pristatys savo naujausias aukšto tikslumo judesio kontrolės technologijas puslaidininkių bandymams, metrologijai ir gamybai.
https://www.youtube.com/watch?v=tgowlirsgvi
